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Model 9010 UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

Model 9010

UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

Model 9010 Scanning TPC

廠牌:KANOMAX FMT
供應商:志尚儀器股份有限公司
聯絡電話:02-22195511
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14907

行動條碼QR Code
UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀-行動條碼QR Code
•專利氣化裝置(Nebulizer)-三種粒徑量測範圍(由10 到30 nm)
•除了可偵測一般的Particle 外另主要可測得一般OPC粒子計數器無法量測到的非揮發性的殘餘生物氣膠(小於20 nm)–
•觸控式面板易於操作
•總流量只需要100-280 ml/min.
 
專利技術提供您線上監控 UPW 或 Slurry 中 20nm 以下 Particle 最小偵測感度可達 10 nm
 
優點 :
- 專利氣化裝置(Nebulizer)
- 三種粒徑量測範圍
   (10/15/20 nm)
- 符合 SEMI C79 “Guide to Evaluate
   the Efficacy of Sub-15 nm Filters
   used in Ultrapure Water (UPW)
   Distribution Systems.”及
   SEMI C93 “Guide for Determining
   the Quality of Ion Exchanged Resin
   used in Polish Applications of
  Ultrapure Water (UPW) Systems.”
 
應用範圍 :
適用於 UPW 系統或相關濾材測試CMP 研磨液研磨粒子粒徑分布分析
 
 
•Three Size-Selectable channels ranging from 10-30 nm
•Max. UPW Nonvolatile Residue : 200 pptat 10 nm threshold, 1 ppb at 20 nm
•Touch Screen and easy to use with set up
•Total flow rate is 100-280 ml/min.
 
其他產品線
- Liquid Nanoparticle Sizer System
  (LNS) for UPW or Slurry Application
- Nebulizer
- NRM, Non-volatile Residue Monitor
- Precision Dilute System
- Nanoparticle Std.
 

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