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Model 9030 UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

Model 9030

UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

Model 9030 LNS

廠牌:KANOMAX FMT
供應商:志尚儀器股份有限公司
聯絡電話:02-22195511
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1321

行動條碼QR Code
UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀-行動條碼QR Code
•專利氣化裝置(Nebulizer)量測範圍由 5 到 600 nm
•除了可偵測一般的Particle 外另主要可測得一般OPC粒子計數器無法量測到的非揮發性的殘餘生物氣膠(小於20 nm)–
•觸控式面板易於操作
•總流量只需要100-280 ml/min.
 
專利技術提供您線上分析 Slurry UPW 5-600 nm Particle 粒徑分佈
 
符合
SEMI C79-0113 “Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water (UPW)
Distribution Systems.”及
SEMI C93-0217 “Guide for Determining the Quality of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW) Systems.”
 
優點
• 原廠整合完整系統,可以極大化
  提高應答時間和精度。
• 可量測實際濃度,而不是相對濃度。
• 提供高解析粒徑分佈(64 Channels Per Decade)量測,並具有5 - 600 nm的寬尺寸測量範圍。
• 量測與樣品粘度、溫度、 顆粒材料、 顆粒形狀和顆粒表面性質無關。
• 可以進行單獨粒徑的大小及數量分析。
• 快速分析, 以最少的樣品製備可以在 < 5分鐘的分析時間內進行測量。
• 無需調節劑來調節樣品電導率。
• 非常適合用於測量膠體顆粒尺寸<30nm中含有會與樣品干擾的溶解殘餘物。
• 可提供長期穩定的運行。
• 粒子 - 粒子間相互作用不影響分析。
• 無需複雜的反轉程序或數據分析。
• 多模態尺寸分佈。
 
•Three Size-Selectable channels ranging from 10-30 nm
•Max. UPW Nonvolatile Residue : 200 pptat 10 nm threshold, 1 ppb at 20 nm
•Touch Screen and easy to use with set up
•Total flow rate is 100-280 ml/min.
 
其他產品線
- Liquid Nanoparticle Sizer System
  (LNS) for UPW or Slurry Application
- Nebulizer 
- NRM, Non-volatile Residue Monitor
- Precision Dilute System
- Nanoparticle Std.
 
 

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