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FMT UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

FMT

UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

FMT Scanning

廠牌:KANOMAX FMT
供應商:志尚儀器股份有限公司
聯絡電話:02-22195511
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1297

行動條碼QR Code
UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀-行動條碼QR Code
•專利氣化裝置(Nebulizer)-三種粒徑量測範圍(由10 到30 nm)
•除了可偵測一般的Particle 外另主要可測得一般OPC粒子計數器無法量測到的非揮發性的殘餘生物氣膠(小於20 nm)–
•觸控式面板易於操作
•總流量只需要100-280 ml/min.
 
•Three Size-Selectable channels ranging from 10-30 nm
•Max. UPW Nonvolatile Residue : 200 pptat 10 nm threshold, 1 ppb at 20 nm
•Touch Screen and easy to use with set up
•Total flow rate is 100-280 ml/min.
 

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