該裝置為無法透過常規導波光的表面應力計來測量的，利用散射光光彈性透過Li +⇔Na +交換來測量化學強化玻璃的應力分佈。 在表面附近有一個K +層的情況，將截面應力分佈與表面應力計FSM-6000的信息結合起來，使用導波光進行分析。
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與折射率分佈無關。
易於處理彎曲的玻璃。
可以進行定點測量。
（雷射光點直徑約10um）
與FSM-6000數據組合。

規格
測量範圍：應力值0-2000Mpa,應力層深度 10-400uM
測量解析度：應力 5Mpa 深度 5um
測量精度：從表面起的深度為50um以上 應力 ±10MPa 深度 ±10um
（用於標準參考玻璃）
光源：LD 640±10nm　30mw Class 3B
測量目標：化學強化玻璃，兩段化學強化玻璃，物理強化玻璃
測量形狀：平面-1000R　10×10mm以上
稜鏡：nD=1.516
PC：專用（操作系統，已安裝測量軟體）
OS：Windows 10專業版
尺寸：W320 * D280 * H220mm（主機）
重量：10kg（主機）