氣體種類 : Air, O2*, N2*, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (other gases and gas mixtures on request)
*O2 & N2 are calibrated with air
測量範圍 : 0...450 L/min
精確度 : 1.0% 滿刻度
反應時間 : Meter (GIM): ± 80ms*; Controller (GIC): ± 500ms*
*依賴儀器的配置和SEMI standard E17-1011
操作壓力 : 0.2 – 11 bara (3 – 160 psia) / GIC with valve type 4.5 and 8: max. 8 bara (120 psia)
操作溫度 : 0 – 50°C (32 – 122°F)
壓力靈敏度 : <0.2% / bar (<0.014% / psi) of reading (typical N2)
溫度靈敏度 : <0.025% 每 1°C (<0.012% per 1°F)

注: GIC/GIM是產品的型號

特點：
數位和類比訊號輸出
互補金屬氧化半導體元件
不受溫度及壓力變化影響

最小壓力損失

高精準度和高解析度

外型設計美觀體積精巧 (瑞士品質)

可抵抗壓力之衝擊

IP67/ NEMA6防護等級

通過ATEX認證(Category 3 / Zone 2)

可選配 多達10種氣體混合及可提供Profibus介面

規格：
氣體種類 : Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (其它氣體及氣體混合需另詢問)
本體材質 : Stainless Steel 316L ; 電氣保護外殼:Aluminum
封口材質 : EPDM (FDA)
準確度 : Standard: ±1.0%FS ; Hi-performance: ±0.3%FS + ±0.5%of reading
比率 : 1:50
反應時間 : Meter:50ms ;Controller:150ms
最大壓力 : Max.11 bar
類比輸出 : 4-20mA, 0-20mA, 0-5V, 0-10V,1-5V
數位輸出 : RS-485;Modbus RTU2 wire; Lab View-Vis available
氣體範圍 : 0-6000ml/min to 0-450Liter/min (Request)
電源供應器 : 24vdc(18-30Vdc)
防護等級:IP67/NEMA 6

EMC: EN61326-1

防爆認證:Ex II 3G nA IIC T4 Gc(Category3/Zone 2)