NX10 AFM 智能型(新型)

NX10

AFM 智能型(新型)

NX10 AFM

廠牌:韓國 Park Systems
供應商:富智科技股份有限公司
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NX10 智能型多功能 AFM

 

1.   多功能型:

- AFM , Tapping , Non-contact mode , 電性功能 (CAFM , EFM , SCM , SSRM…) , Lithograthy ....

​- XY及Z採用最高端分離式 flexture掃描器設計.

- 機械性功能 FMM , Force-Distance , LFM ,

2. 最新SmarkScan(智能掃描)軟體 (http://youtu.be/_V43HbABriQ ),具自動調整參數得到高解析成像功能

3. 掃描器線形度高,直角正交
AFM採用了柔性掃描器最大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合,並且通過位移感測器及時進行回饋控制,有效保證了掃描的準確度和精度。
 

4. 非接觸式掃描 ( True Non-contact Mode)
可真正實現非接觸式掃描是Park AFM最顯著的技術優勢。採用這一模式掃描時,針尖和樣品間距可以保持在幾個納米,在避免針尖磨損的同時提高了成像品質。

5. CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點,是常用的AFM探針性能測試樣品。如採用輕敲模式進行掃描,10次後圖像品質就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描( True No-contact mode)實驗中,掃描100次後圖像細節依然清晰,證明針尖沒有受到損傷。


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