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超純水/鍋爐水監測系統

 

半導體、液晶、晶圓、精密零組件等製造,都必須使用大量超純水,以洗淨藥品處理後所沾附的藥品及髒汙,如最先進的LSI生產線就必須使用最高標準水質的超純水。超純水製造技術的核心技術,包括有離子交換技術、膜過濾技術、配管技術及分析技術。

 

以下為ULSI製程與LCD製程的一般性標準

 

水質項目

ULSI    製程

LCD   製程

1Mb

4~16Mb

16~64Mb

64~256Mb

256Mb~1Gb

 

電 阻 (MΩ.cm)

17.5~1.0

>18.0

>18.1

>18.2

>18.2

>18.0

微粒子

(個/ml)

0.1μm

10~208

<5

<1

0.05μm

<10

<5

<1

0.03μm

<10

<5

生菌數 (cfu/L)

10~50

<10

<1

<0.5

<0.1

<10

TOC (μg/L)

30~50

<10

<5

<2

<1

<20

溶 氧 (μg/L)

30~50

<50

<10

<5

<1

<50

矽 (μg/L)

5

<1

<1

<0.5

<0.1

<1

重金屬 (ng/L)

100~500

<100

<10~50

<5

<1

<100

陰離子 (ng/L)

100~500

<100

<50

<5

<1~2

<100

 

超純水製造設備一般由前處理系統、一次純水系統、二次處理系統、廢水回收系統及廢水處理系統所構成,各個處理系統又由 4~5 個單元組成,因此整體系統的單元數高達 20~25 個單元。

 

某ULSI製程廠的水質標準

 

水質項目

工業用水

前處理系統

出口

一次純水

系統出口

二次處理

系統出口

排水回收之

原水

排水回收

系統出口

pH

6.2~7.3

6.1~7.2

(7)

(7)

2~7

6~7

導電度(μS/cm)

110~210

110~210

11~510

1~21

電阻(MΩ˙cm )

10~15

18.24

TOC(μg/L)

400~2,000

300~1,600

5~20

1~5

10~3,000

10~300

生菌(cfu/L)

1~10

1.0 以下

1~100

濁度(度)

MF 值(分/L)

1~20

0.5 以下

3~4

3 以下

3~5

3 以下

微粒子(個/mL)

1×105~1×106

1×103~1×10

4

10~100

1~5

1×103~1×104

100~1,000

矽(mg/L)

(μg/L)

10~40

10~40

1~4

1~4

1~1,100

1~110

溶氧(mg/L)

8~10

8~10

0.005~0.010

0.001~0.005

6~7

6~7

重金屬(μg/L)

(ng/L)

1~300

1~10

10~50

0.1~5

10~50

1~10

Na(mg/L)

(μg/L)

(ng/L)

5~22

5~22

1~2

10~1,000

1~100

0.5~5.5

Cl(mg/L) (μg/L)

(ng/L)

5~35

5~35

1~2

10~1,000

1~100

0.5~5.5

 

 

鍋爐水監測系統

 

鍋爐是一種利用燃料燃燒放出的熱能或者其他熱能加熱水或其他工質,以生產規定參數(溫度、壓力)的品質的蒸汽、熱水或者其他設備。鍋爐常在熱力發電廠或其他工業、民用生產中使用。

 

    鍋爐是一種熱交換設備,它是起到將燃料燃燒時放出的熱量傳遞給水,從而產生蒸汽的作用。如果水質不良,受熱面上就形成水垢,水垢的生成會極大地影響鍋爐導熱能力。物體的導熱能力通常用導熱係數來表示的,導熱係數越大,說明導熱能力強。由於,水垢的導熱係數比鋼鐵的導熱係數小數十倍到數百倍。鍋爐結垢將產生下幾種後果:(1)浪費燃料;(2)受熱面損壞;(3)降低鍋爐出力;(4)增加管內水迴圈的流動阻力,嚴重者甚至完全堵塞。

  另外,鍋爐的內外構件都會因水質不良而引起腐蝕,甚至穿孔,縮短鍋爐使用年限,造成經濟上的損失。不但縮短了運行的時間,也增加了檢修費用。甚至會造成安全事故,威脅著人身安全。

 

        聯宙科技提供符合環保法規的各式超純水與鍋爐水的水質自動連續監測解決方案,系統依照客戶需求採客制設計開發,設備穩定可靠,全天候自動搜集監測點資料並上傳環保署,包含服務國外專業大廠Dr.Thiedig、HACH、Polymetron等,可供使用者最穩定、省時、省力的系統環境。

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