型號:3000LF(Non-hazardous) (Panel mount)
Oxygen Analysis-on line-ppb
Ultra Trace Oxygen Analyzer Model 3000LF，用於高精度監測超高純度（UHP）氣體中的微量氧。 UHP N2，H2，He和Ar通常用晶圓製造，過程中任何一點的氧污染都會對產品產量產生不利影響。 Model 3000LF幫助UHP大宗氣體用戶確保採用最高水平的質量控制來保護其生產率。
分析範圍 : 0-10 ppm O2
最低偵測極限: 0.5 ppb O2
分析氣體種類: N2, Ar, H2, He
分析儀器入口壓力: 5 to 90psig