SI-6000 Cleanroom AMC 酸鹼氣體分析系統
行動條碼QR Code
特點
-可採用不同原理配置(PPWD、MS、UV、CRDS、PAS、PID、FID …等原理)
-準確可靠, 高穩定性，靈敏度和可靠性
-檢測極限可低至Sub. ppb
-符合SEMI ITRS 2015 AMC 分析方法
-可連續準確監測有機和無機氣體
-測量項目包括NH3、總胺、HF、HCl、Cl2、SO2、H2S、TS、總酸、TVOC和個別成分的VOC
-可採用不同原理配置(PPWD、MS、UV、CRDS、PAS、PID、FID …等原理)
-準確可靠, 高穩定性，靈敏度和可靠性
-檢測極限可低至Sub. ppb
-符合SEMI ITRS 2015 AMC 分析方法
-可連續準確監測有機和無機氣體
-測量項目包括NH3、總胺、HF、HCl、Cl2、SO2、H2S、TS、總酸、TVOC和個別成分的VOC
應用
‐潔淨室環境微污染控制製程監測
‐大氣環境酸鹼氣體監測
‐研發與學術研究等
‐大氣環境酸鹼氣體監測
‐研發與學術研究等
