Series 6000 IMS 全新第四代無放射性 IMS 分析儀
Series 6000 IMS
全新第四代無放射性 IMS 分析儀
IMS Analyzer for AMC
廠牌：Molecular Analysis
供應商：志尚儀器股份有限公司
聯絡電話：02-22195511
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全新第四代離子電泳分析儀
•最新 IMS 技術, 符合 SEMI IRDS 2017 Guide 中 AMC Method
•無 Chemical Dopant 等消耗品
無放射源無需管制
無放射源無需管制
•可檢測 NH3 & Amines以及多種成分的酸性氣體(如: Cl2、HCl、SO2、HF…等)與多種 VOC 成分
•具進樣口與 Cell 加溫系統可避免樣品冷凝沉澱污染 Cell
•具 Baked Out 功能不因高濃度樣品導致偵測器汙染
•低壓損智能型採樣系統： up to 45 點
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